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蔡司鎢燈絲掃描電鏡利用鎢燈絲產生的熱電子來形成電子束。這個電子束被聚焦并加速,然后通過一系列的透鏡系統(tǒng)來控制和聚束。電子束掃描樣品表面,并與樣品相互作用。與樣品交互作用的電子會產生多種信號,包括二次電子、反射電子、散射電子等。這些信號被探測器捕捉,并轉化為圖像。