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簡要描述:波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估的X射線熒光分析儀同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析。這是一種波長色散X熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。
產(chǎn)品分類
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品牌 | Rigaku/理學(xué) | 行業(yè)專用類型 | 電子產(chǎn)品 |
---|---|---|---|
元素分析范圍 | 4是~92U | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 臺式/落地式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估,同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析。
這是一種波長色散X熒光光譜儀(WD-XRF),可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。XYθZ驅(qū)動樣品臺(方法)可以精確分析各種金屬膜,避免衍射射線的影響。4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析,例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人(可選)。它配備了自動校準(zhǔn)(全自動每日檢查和強(qiáng)度校正功能)。
◆支持微量元素的濃度和成分分析
適用于從輕元素到重元素的各種元素:4是~92U
◆高靈敏度硼檢測儀AD-硼
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng),例如提高硼分析能力,以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外,降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
◆X-Y-θ驅(qū)動級
X-Y-θ驅(qū)動樣品臺和測量方向設(shè)置程序可以在整個晶圓上精確測量薄膜厚度和成分分布。鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。
◆應(yīng)用:
?半導(dǎo)體器件BPSG,SiO2四3N4
?摻雜多晶硅(B,P,N,AS),Wsix
?Al-Cu,TiW,TiN、TaN,PZT,BST,SBT
?MRAM
?金屬膜W,Mo,Ti,Co,Ni,Al,Cu,Ir,Pt,Ru
?磁盤CoCrTa,CoCrPt,DLC
?NiP
?磁光盤Tb-FeCo
?磁頭GMR,TMR
◆廣泛的固定測角儀產(chǎn)品陣容
我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測角儀。我們還在準(zhǔn)備一個專用的光學(xué)系統(tǒng),可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。
◆全自動日常管理功能自動校準(zhǔn)
為了獲得準(zhǔn)確的分析值,必須對儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。為此,必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓,以保持設(shè)備的健康狀況。這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動化的,減少了操作員的工作量。這就是AutoCal功能。
◆與C-to-C自動輸送兼容
除了開放式暗盒外,還支持SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。此外,還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信,并支持各種CIM/FA格式。
◆緊湊節(jié)能設(shè)計
主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計。無油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計。
同時評估薄膜厚度和成分
適用于所有薄膜類型
支持小于200mm的晶圓和介質(zhì)盤
高分析性能、準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性
獲得的XYθZ驅(qū)動樣品臺,可獲得準(zhǔn)確的XRF結(jié)果
高靈敏度硼分析(帶AD硼通道)
使用可選的C到C自動加載器進(jìn)行自動校準(zhǔn)
無油變壓器X射線發(fā)生器
功耗比以前的型號低23%
產(chǎn)品規(guī)格:
產(chǎn)品名稱 | WDA-3650 |
技術(shù) | 同步波長色散X射線熒光光譜儀(WD-XRF) |
用 | 最大200mm晶圓的多層堆疊的厚度和成分 |
科技 | 4kW X射線發(fā)生器,帶XYθ樣品臺,Rh 陽極 WDXRF |
主要成分 | 多達(dá)20個通道,固定類型(?Be 至 ??U),掃描類型(??Ti 至 ??U) |
選擇 | 靈敏的AD-硼通道,使用C-c-C自動加載器進(jìn)行自動校準(zhǔn) |
控制(電腦) | 內(nèi)置電腦,微軟視窗®操作系統(tǒng) |
車身尺寸 | 1120(寬)x1450(高)x890(深)毫米 |
質(zhì)量 | 600公斤(主機(jī)) |
權(quán)力 | 三相200VAC 50/60Hz、30A或單相220-230VAC 50/60Hz 40A |
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