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簡要描述:德國蔡司共聚焦顯微鏡Smartproof 5Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學(xué)為基本原理,采用獨(dú)chuang的高速轉(zhuǎn)盤掃描技術(shù)為成像方法,將高分辨率與速度完mei結(jié)合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實(shí)現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。
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產(chǎn)品描述
德國蔡司共聚焦顯微鏡Smartproof 5
Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學(xué)為基本原理,采用獨(dú)chuang的高速轉(zhuǎn)盤掃描技術(shù)為成像方法,將高分辨率與速度完mei結(jié)合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實(shí)現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。
Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)最佳的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng),專li的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結(jié)果的時(shí)間。集成和穩(wěn)固設(shè)計(jì)確保無附加防振設(shè)備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用,獨(dú)you的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務(wù),能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她最jian端的光學(xué)技術(shù)和基于用戶的設(shè)計(jì)理念,再次向世界證明了光學(xué)領(lǐng)dao品pai的地位。
產(chǎn)品特點(diǎn)
l高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍,其XY方向線分辨率達(dá)到120 nm。
l高測量精度
同時(shí),在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上,Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動(dòng)步進(jìn)裝置,最小步進(jìn)精度達(dá)到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
l高速掃描
傳統(tǒng)共聚焦采用點(diǎn)掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描,成像速度大大提高,最快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說瞬間即可得到測量結(jié)果,大大提高工作效率。
l真實(shí)色彩還原
還可使用三色LED光源,能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實(shí)顏色,從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
1. 波長:405nm
2. 分辨率:120nm
3. Z軸最小步進(jìn)精度:1nm
4. 成像速度:常規(guī)共聚焦的2-3倍
5. 物鏡:2.5x-100x
6. 高度掃描范圍:高達(dá)5mm
7. 載物臺(tái):150mm×150mm超大行程
8. 控制系統(tǒng):Smartproof 5應(yīng)用軟件
9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量:
2D:距離,高度,角度,構(gòu)造元素,基于ISO 4287的輪廓粗糙度
3D:水平距離,3D距離,高度,角度,構(gòu)造點(diǎn),面積,體積,基于ISO 25178的面粗糙度
其他:水平調(diào)整,形狀去除,濾波,去噪,報(bào)告
應(yīng)用
1. 汽車制造:研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量
2. 航空航天工業(yè):評(píng)價(jià)橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析
3. 醫(yī)療器械:植入器官的表面測量
4. 微光學(xué)/機(jī)械制造:敏感精密光學(xué)部件的表面測量、精密機(jī)械部件的精密幾何測量
5. 電子:導(dǎo)線的幾何量測量(寬度,厚度等)、焊接結(jié)點(diǎn)的質(zhì)量過程控制
6. 造紙:紙張以及印刷品的表面測量
應(yīng)用圖例:
激光刻蝕表面,帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖
衍射光學(xué)器件,彩色編碼高度圖
研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖
臺(tái)階高度標(biāo)樣測試(標(biāo)準(zhǔn)高度1.777±0.011mm,NIST認(rèn)證),實(shí)測臺(tái)階高度1.772mm。
上圖:三維偽彩圖;下圖:二維輪廓線圖。
粗糙度標(biāo)樣測試結(jié)果。標(biāo)準(zhǔn)粗糙度Ra = 2.97mm,實(shí)測Ra=2.962mm。
20x物鏡,4x1三維拼接,cut-off值取1/5取樣長度。
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