鎢燈絲掃描電子顯微鏡具有明場、暗場、偏光以及微分干涉等不同的觀察模式。在金相組織觀察過程中,常規(guī)應(yīng)用廣泛的就是明場,大部分金相檢驗檢測都可以通過明場模式拍攝。然而,暗場、偏光以及微分干涉在材料分析中具有其*作用的。
鎢燈絲掃描電子顯微鏡是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計算機通過光電轉(zhuǎn)換有機的結(jié)合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計算機顯示屏幕上觀察實時動態(tài)圖像,并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。盡管類型很多,但其結(jié)構(gòu)大體可以分為光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、機構(gòu)系統(tǒng)三個部分;此外還有照相裝置,顯微硬度等。
如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差:
1、物鏡放大倍數(shù)的正確性:裝上10X標準目鏡和被檢物鏡,將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。調(diào)查時測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合,其偏移量測是放大倍數(shù)的偏差。其余物鏡以此類推舉行校校準,其偏差不大于5%。
2、目鏡分劃板的準確度:將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距;調(diào)解工作臺,使分劃板的水平線與萬工顯縱導(dǎo)游軌行程平行并對好零位,按每20格測量一次,直到第100格,其偏差不大于5um。
3、物鏡成像清楚局限:用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣舉行調(diào)焦,使成像清楚。當視場中心像非常清楚時,測得視場內(nèi)的成像清楚局限的偏差不低于60%。
4、各物鏡相對于目鏡的格值:裝上被檢儀器的10X目鏡,將0.01mm標準測微尺(推薦應(yīng)用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調(diào)解測微尺標尺軸線與儀器目鏡分劃板標尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包括測微尺n條刻線數(shù),該物鏡相對于目鏡的格值為:C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推舉行校準。
以上內(nèi)容就是對如何校準鎢燈絲掃描電子顯微鏡的誤差的介紹了,鎢燈絲掃描電子顯微鏡是普遍用于冶金、機械加工、科技等行業(yè)的丈量儀器