蔡司掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡,已成為功能強、用途廣的材料表征工具,已廣泛應(yīng)用于材料,冶金,礦物,生物學(xué)等領(lǐng)域。 在SEM中,電子束以柵網(wǎng)模式掃描樣品。首先,電子槍在鏡筒頂部生成電子。當電子的熱能超過了源材料的功函數(shù)時,就會被釋放出來,然后它們加速向帶有正電荷的陽*速移動。整個電子鏡筒必須處于真空狀態(tài)。
蔡司掃描電子顯微鏡是運用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分或者晶體結(jié)構(gòu)等)的差異,在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異,從而獲得具有一定襯度的圖像。成像信號是二次電子、背散射電子或者吸收電子,此中二次電子是主要的成像信號。高能電子束轟擊樣品表面,激發(fā)出樣品表面的各種物理信號,再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
蔡司掃描電子顯微鏡除了可以測試二次電子圖像之外,還可以測試背散射電子、透射電子、特征x射線以及陰極發(fā)光等信號圖像。它的成像原理和二次電子像一樣。在進行掃描電子顯微鏡觀察之前,要對樣品作相應(yīng)的處理。
蔡司掃描電子顯微鏡對樣品的要求:
首先第一點,不會被電子束分解;
其次第二點,在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好;
第三點,可以提供導(dǎo)電還有導(dǎo)熱通道;
第四點,大小和厚度要適合使用于樣品臺的安裝;
第五點,觀察面應(yīng)該清潔并且無污染物;
第六點,進行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)該平整;
最后第七點,磁性試樣要預(yù)先去磁,是為了避免觀察的時候電子束受到磁場的影響。